發(fā)布時(shí)間：2023-07-16 21:43:32 人氣：4915
濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。凈化等級(jí)塵粒最大允許數(shù)/立方米≥0.5μm塵粒數(shù),500，≥5μm塵粒數(shù)0，微生物最大允許數(shù)浮游菌/立方米5，沉降菌/皿1。絕對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，假如產(chǎn)生在精巧裝置或電路中，就會(huì)引起各種事變。絕對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片名義粘著的灰塵化學(xué)吸附在名義耐難以清除。絕對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)絕對(duì)濕度低于30%時(shí)，又因?yàn)殪o電力的作用使粒子也輕易吸附于名義，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件輕易產(chǎn)生擊穿。對(duì)硅片生產(chǎn)最佳溫度范疇為35—45%。
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